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製品の詳細
VILシリーズナノグラフィックスシステム（レーザー干渉リソグラフィ）は高速再構成可能なビーム伝送、能動的なグラフィックス安定化、正確なサンプル位置決めなどの強大な機能を有する。このシステムは標準を使用することで2cm×2cm正方形またはユーザ定義形状のパターンフィールドを繰り返し露光し、8インチの大面積に様々なナノ構造、例えば1Dラスタラインと2Dポスト/穴パターン、周期240 nmまで1500 nm。
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